刻蝕機是晶圓生產(chǎn)過程中極為重要的一個環(huán)節(jié)，刻蝕機的腔室（chamber）在刻蝕過程中受等離子體的侵蝕而失效，需要定期進行重新噴涂。聯(lián)合涂層技術(shù)公司與國內(nèi)知名研究院共同研發(fā)的刻蝕機腔室的噴涂技術(shù)，已經(jīng)成功通過了有關(guān)部門的鑒定，效果完全達到了用戶以往在日本噴涂所達到的全部技術(shù)指標。
此外，熱噴涂在靜電吸盤（靜電卡盤）上也有重要的應(yīng)用。
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